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半導體精密零部件

●  公司具備半導體精密零部件的供應能力,包括光刻機、刻蝕機關鍵零部件以及紅寶石限流噴嘴、各類電源等設備零部件。

●  公司是目前國內少數掌握應用于高端制程反應腔體噴涂技術的供應商,上海反應腔體項目位于上海金山。

●  公司可供應的其他半導體零部件包括CABLE ASSY、BALL SEAL、氣缸、紅寶石限流噴嘴、各類電源銷售及服務、泵維修、閥維修、特種光源生產等。

    ·  供應面豐富;

    ·  核心零部件;

  

    • 直排電機

    • 光刻機用直排電機
    • 紅寶石限流噴嘴

    • 高精密紅寶石限流噴嘴應具有耐高溫、耐腐蝕性、硬度大、高強度及高可靠性等性能特點
    • 其他產品

    CMP 研磨片、氣缸、TEL Vigus Ball seal、Spring, 300MM PC XT、GSKT SHLD RF、CABLE ASSY, 300MM, HS3, DRIVER、紅寶石限流噴嘴等